氣相(xiang)沉(chen)積(ji)按形成的(de)(de)基本原(yuan)理，分為化學(xue)氣相(xiang)沉(chen)積(ji)（CVD）和(he)物理氣相(xiang)沉(chen)積(ji)（PVD）。氣相(xiang)沉(chen)積(ji)是(shi)在工件(jian)(jian)表(biao)(biao)面覆蓋一層厚(hou)度為0.5～10μm的(de)(de)過渡族元素（Ti、V、Cr、W、Nb等(deng)）與C、N、O、B等(deng)形成的(de)(de)化合(he)物，或單一的(de)(de)金(jin)屬及(ji)(ji)非金(jin)屬涂(tu)(tu)層，使零件(jian)(jian)表(biao)(biao)層改變化學(xue)成分，并在其(qi)表(biao)(biao)面形成功能性（例如超硬耐磨層）或裝飾性的(de)(de)化合(he)物涂(tu)(tu)層的(de)(de)新技(ji)術(shu)，現已廣泛應用于各(ge)類零件(jian)(jian)的(de)(de)硬化處理。沉(chen)積(ji)層的(de)(de)主(zhu)要(yao)類別及(ji)(ji)特性見表(biao)(biao)3-38。
主要應用(yong)的沉積層TiC、TiN涂層有以下特點：
a. 涂層有很高的(de)硬度（TiC：2980～3800HV，TiN：2400HV）、低的(de)摩擦因數和(he)自潤滑性(xing)能(neng)，所(suo)以抗磨(mo)粒磨(mo)損性(xing)能(neng)良好(hao)。
b. 涂層具有(you)很高的(de)(de)熔(rong)點(dian)（TiC：3800℃，TiN：2950℃），化學穩定(ding)性好，基(ji)體金屬(shu)在涂層中的(de)(de)溶(rong)解度(du)小，摩擦因數(shu)較(jiao)低，因而具有(you)很高的(de)(de)抗粘(zhan)著磨損能力，使用中發生冷焊和咬合(he)的(de)(de)傾向也(ye)很小，而且TiN比(bi)TiC更(geng)好。
c. 涂層有較(jiao)強(qiang)的耐蝕(shi)性(xing)，TiC涂層在硫酸、鹽酸、氯化鈉水(shui)溶液中的耐蝕(shi)性(xing)良好，而且TiN的耐蝕(shi)性(xing)一般(ban)都比TiC更好一些。
d. 涂層在高溫下也具有良好的抗大氣氧化能力（TiC大約可達400℃，TiN大約可達500℃），高于以上溫度，在空氣中的TiC、TiN將被氧化成TiO2而失去其原來的性能。
